干式螺杆真空泵中呈现颗粒物的情况以及措施

干式螺杆真空泵种类很多，按照工作原理可分为两类：容积式干式螺杆真空泵和动量传送式干式螺杆真空泵。这两类的干式螺杆真空泵的特性有哪些呢?普通干式螺杆真空泵的特性具有清洁方便，安全适用，耐磨性能强，造价低，维修方便，性能稳定，振动小，噪音低等特性，干式螺杆真空泵有着愈加有意义的价值和更普遍的运用。干式螺杆真空泵在清洁方面，用油润滑的干式螺杆真空泵都会有一个潜在的油蒸气的污染源存在，必须采取一定措施加以处置此类问题。

在半导体产业主要应用对象的干式螺杆真空泵，会在许多抽气工艺过程中呈现一些颗粒物，普通说来，在干式螺杆真空泵中呈现颗粒物有三种情况即在干式螺杆真空泵内产生反响气体的生成物，抽气过程混入的颗粒物，当干式螺杆真空泵内压力增高时惹起气固变相过程的发作。

防止颗粒物在干式螺杆真空泵中构成的措施从三方面考虑，一方面恰当进步泵温；物质的升华，凝结是压力和温度的函数，且函数联络随物质的不同而不同，所以调整泵的温度可避免气固变相进程的发作；一方面降落参与化学反响气体的浓度。单位时间内气体反响生成物(颗粒)的数量可用反响率来标明，而反响率和反响气体浓度成指数联络，所以在消费工艺中充入惰性气体，减少反响气体浓度是降落生成颗粒物的更有效的办法，通常这类泵紧缩气体之前就通入惰性气体，避免固体颗粒物的发作；一方面增加抽气通道中的气流速度，为避免处于悬浮状态的固体颗粒物堆积，使气体的活动速度大于颗粒物堆积的临界速度，在干式螺杆真空泵内及早充入适量的气体，使气流速率大于颗粒堆积临界速度，保证颗粒物完成气动运送，但是充入气量不能过大，过大的气量将影响泵的极限压力，在不同的抽气体系中，经过实验断定更佳充入气量。

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